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集成電路液晶顯示屏激光存儲器等領域用濺射高純靶材的性能要求

發(fā)布時間:2021-06-24 20:56:19 瀏覽次數(shù) :

鈦靶材用量較大的行業(yè)主要有半導體集成電路、平板顯示器、太陽能電池、磁記錄介質、光學器件等(這些就是按應用分類的),其中,高純度濺射鈦靶材主要用于對材料純度、穩(wěn)定性要求更高的領域,如半導體、平板顯示器、太陽能電池、磁記錄介質等。

濺射鈦靶材

在所有應用中,半導體對濺射靶材的技術要求和純度最高,價格也最為昂貴,這方面的要求明顯高于平面顯示器、太陽能電池等其他應用領域,半導體芯片對濺射鈦靶材的金屬材料純度、內(nèi)部微觀結構等方面都設定了極其苛刻的標準,若濺射靶材的雜質含量過高,形成的薄膜就無法達到使用所要求的電性能,且在濺射過程中易在晶圓上形成微粒,導致電路短路或損壞,將嚴重影響薄膜的性能。

芯片制造對濺射靶材金屬純度的要求最高,通常要達到99.9995%以上,而平板顯示器、太陽能電池分別要求達到 99.999%、99.995%以上即可。

除了純度之外,芯片對濺射靶材內(nèi)部微觀結構等也設定了極其苛刻的標準。需要掌握生產(chǎn)過程中的關鍵技術,并經(jīng)過長期實踐才能制成符合工藝要求的產(chǎn)品。

超高純度金屬及濺射靶材是電子材料的重要組成部分,濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈主要包括金屬提純、靶材制造、濺射鍍膜和終端應用等環(huán)節(jié)。其中,靶材制造和濺射鍍膜環(huán)節(jié)是整個濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈中的關鍵環(huán)節(jié)。

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