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凱澤金屬談金屬靶材的分類與應用

發布時間:2021-02-16 16:07:27 瀏覽次數 :

寶雞市凱澤金屬材料有限公司,多年來專注于濺射靶材、真空鍍膜鈦、鎳、鋯、鉻靶材的生產及深加工,靶材廣泛應用于主營平板顯示器用靶材,鍍膜玻璃工業用靶材,電阻靶材,汽車車燈鍍膜用靶材等領域。有關鈦靶材的制備工藝方法,凱澤金屬結合10多年的生產經驗,結合有關資料,整理如下:

目前鈦靶材的制備主要有鑄造法和粉末冶金法。

鑄造法:將一定成分配比的合金原料熔煉,再將合金溶液澆注于模具中,形成鑄錠,最后經機械加工制成靶材,鑄造法在真空中熔煉、鑄造。常用的熔煉方法有真空感應熔煉、真空電弧熔煉和真空電子轟擊熔煉等,其優點是靶材雜質含量(特別是氣體雜質含量)低,密度高,可大型化;缺點是對熔點和密度相差較大的兩種或兩種以上金屬,普通熔煉法難以獲得成分均勻的合金靶材。

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粉末冶金法:將一定成分配比的合金原料熔煉,澆注成鑄錠后再粉碎,將粉碎形成的粉末經等靜壓成形,再高溫燒結,最終形成靶材,其優點是靶材成分均勻;缺點是密度低,雜質含量高等,常用的粉末冶金工藝包括冷壓、真空熱壓和熱等靜壓等。

一、按材質:

靶材分為金屬靶材,陶瓷(氧化物、氮化物等)靶材,合金靶材。

二、按應用方向:

1、半導體關聯靶材:

電極、布線薄膜:鋁靶材,銅靶材,金靶材,銀靶材,鈀靶材,鉑靶材,鋁硅合金靶材,鋁硅銅合金靶材等。

儲存器電極薄膜:鉬靶材,鎢靶材,鈦靶材等。

粘附薄膜:鎢靶材,鈦靶材等。

電容器絕緣膜薄膜:鋯鈦酸鉛靶材等。

2、磁記錄靶材:

垂直磁記錄薄膜:鈷鉻合金靶材等。

硬盤用薄膜:鈷鉻鉭合金靶材,鈷鉻鉑合金靶材,鈷鉻鉭鉑合金靶材等。

薄膜磁頭:鈷鉭鉻合金靶材,鈷鉻鋯合金靶材等。

人工晶體薄膜:鈷鉑合金靶材,鈷鈀合金靶材等。

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